 หัวเรื่อง:ไม่มีชื่อไทย (ชื่ออังกฤษ : Effect of Films Thickness on the Properties of ITO Thin Films Prepared by Electron Beam Evaporation) ผู้เขียน: Artorn Pokaipisit, Mati Horprathum, พิเชษฐ ลิ้มสุวรรณ สื่อสิ่งพิมพ์:pdf AbstractIndium tin oxide (ITO) thin films were prepared on glass slide substrates at various thicknesses by electron beam evaporation (e-beam) from a tablet of In2O3 and SnO2 (9:1). The ITO thin films were fabricated at substrate temperatures of 150 ?C, deposition rate of 2 ?/s and oxygen flow rate of 12 sccm. The structure, surface morphology, electrical and optical properties of ITO thin films were investigated. The structure and surface morphology of films were monitored by using X–ray diffraction (XRD) and atomic force microscopy (AFM), respectively. The optical transmittance and sheet resistance of ITO thin films were measured by spectrophotometer and four-point probe. It was found that transmittance and sheet resistance of ITO thin films on glass slide decreased as film thickness increased from 200 nm to 700 nm. The transmittance spectra in the visible region (400-700 nm) and the sheet resistance decreased from 76.63% to 57.89% and from 16 ?/sq. to 4 ?/sq., respectively, with increasing the films thickness. |
 ที่มา:การประชุมวิชาการครั้งที่ 49 มหาวิทยาลัยเกษตรศาสตร์ ISBN 9786167522050หัวเรื่อง:สมบัติโฟโตคะตะไลติกของฟิล์มบางไททาเนียมไดออกไซด์ที่เคลือบด้วยเทคนิค รีแอกตีฟ ดีซี สปัตเตอริง |
 |
 Researcherดร. ภ.พึ่งบุญ ปานศิลา, ผู้ช่วยศาสตราจารย์ที่ทำงาน:ภาควิชาวิทยาศาสตร์พื้นฐานและพลศึกษา คณะวิทยาศาสตร์ ศรีราชา สาขาที่สนใจ:Ultra-High Vacuum, Physics of Vacuum and Vacuum Technology, Physics of Thin Film and Thin Film Technology, Plasma Processing and Plasma Technology, Semiconductor Processing, Atomic layer deposition and Sputtering Process , Surface Chemistry, Materials for medical applications, Renewable Energy, Simulation for Gas adsorbed Surface, High Quality Thin Films Resume |